Comsol，

使用 COMSOL Multiphysics“等离子体模块”对 GEC CCP 反应器进行模拟。

其中，放电气压为 100 mTorr，氩等离子体通过 13.56 MHz 的周期性电激励维持。

该模型是二维的，描述了放电的多个宏观属性的空间和时间周期演化。

反应器具有电不对称性，其功率电极的直径约为 10 cm，电极之间的间隙为 2.45 cm。

CCP 反应器中的功率沉积机制呈高度非线性，并在多种不同的频率下发生。

因此，不能在频域求解静电位，而必须描述带电粒子的周期性演化，以捕获非线性功率吸收特性。

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